책 소개

반도체의 핵심 공정 중 하나인 산화 공정(Oxidation Process)을 시작으로 전(Front-end)공정 전반에 대한 흐름 이해, 실습 기반 교육, 안전관리 지침을 통합적으로 구성하여 실무와 교육 현장에서 동시에 활용될 수 있도록 기획되었다. 대학 및 공정 실습 교육 현장에서 직접 반도체 공정을 경험하고자 하는 학습자를 대상으로 한다.<BR> <BR> 공정의 물리적·화학적 원리를 설명하고 실제 실습에서 만나는 장비와 공정 조건에 적용할 수 있도록 구성했다. 공정 맵, 플로우차트, 비교 도표로 전공정의 흐름 속 각 단위 공정의 위치와 역할을 시각화했다. MSDS 교육, 사고사례 분석, ESD 예방, Buddy System 등 안전 중심 교육 요소와 공정일지, 전력효율 분석, 장비 체크리스트 등 실무 활용을 위한 연계성을 담았다.